MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器

随着用于存储大量数据的表面几何空间急剧减少，微电子制造商的颗粒监测变得越来越重要。MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数仪的设计，满足半导体洁净室监控、工艺基准确定和颗粒故障解决的独特需要。

便携式空气颗粒计数仪适用于 ISO 14464 中 ISO 1 和 ISO 2 环境部分洁净室验证。 

  • 0.1 微米的灵敏度（范围 0.1 μm-1.0 μm）
  • 顺序采样与可选收集器
  • 排气扇在仪器运行过程中不工作，以减少颗粒的影响
  • 简化了区域、位置和运行参数配置和复制的接口 
*本产品仅供工业与科研使用，不用于临床诊断 

 

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功能特点

合规标准

  • 符合 ISO 14644-1  Class 5 的采样标准
  • 符合 ISO 21501-4 准确的工艺基准确定和故障解决功能

数据管理

  • 无线，以太网，串口和 USB 通讯选择
  • 打印或无纸化数据输出
  • 开放的通信体系结构

仪器操作

  • 多达 6 个粒径通道（2.83 LPM 流速（0.1 CFM））
  • 顺序采样能力
  • 长寿命激光技术，提高性能和降低操作成本

应用程序

  • 半导体洁净室分类与监控
  • 持续的环境监测
  • 故障诊断过程

技术文件

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