MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器
随着用于存储大量数据的表面几何空间急剧减少，微电子制造商的颗粒监测变得越来越重要。MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器的设计，满足半导体洁净室监控、工艺基准确定和颗粒故障解决的独特需要。
便携式空气颗粒计数器适用于 ISO 14464 中 ISO 1 和 ISO 2 环境部分洁净室验证。
- 0.1 微米的灵敏度（范围 0.1 μm-1.0 μm）
- 顺序采样与可选收集器
- 排气扇在仪器运行过程中不工作，以减少颗粒的影响
- 简化了区域、位置和运行参数配置和复制的接口
*本产品仅供工业与科研使用，不用于临床诊断
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功能特点
合规标准
- 符合 ISO 14644-1 Class 5 的采样标准
- 符合 ISO 21501-4 准确的工艺基准确定和故障解决功能
数据管理
- 无线，以太网，串口和 USB 通讯选择
- 打印或无纸化数据输出
- 开放的通信体系结构
仪器操作
- 多达 6 个粒径通道（2.83 LPM 流速（0.1 CFM））
- 顺序采样能力
- 长寿命激光技术，提高性能和降低操作成本
应用程序
- 半导体洁净室分类与监控
- 持续的环境监测
- 故障诊断过程
产品规格明细
| 实验性能 | ISO 21501-4 unit-to-unit accuracy & reproducibility |
| Industry Standards | ISO 21501-4 , 21 CFR Part 11, ISO 14644-1:2015, FCC, CE |
| Light Source | Helium neon laser |
| Coincidence Loss | % at 1,765,000 particles/m³ (per ISO 21501-4 method) |
| Sample Volume | 5 µm |
| 实验通量 | 28.32 L per minute |
| Reporting | EU GMP, ISO 146441-1.2015, FS209E, BS5295, ISO 14644-1:1999 |
| Zero Count | ISO 21501-4 & JIS B 9921 (1 count or less in 5 minutes; 95% Upper Confidence Limit) |
| Counting Efficiency | 50% at 0.1 μm (100% for particles > 0.15 μm per ISO 21501-4 & JIS B 9921) |
| Count Alarms Display and Cycles | User-defined alarm counts, Raw counts: N/CF, N/CM, N/L in cumulative or differential mode |
| 产品货号 | 2088800-05 |