MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器

随着用于存储大量数据的表面几何空间急剧减少,微电子制造商的颗粒监测变得越来越重要。MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器的设计,满足半导体洁净室监控、工艺基准确定和颗粒故障解决的独特需要。

便携式空气颗粒计数器适用于 ISO 14464 中 ISO 1 和 ISO 2 环境部分洁净室验证。 

  • 0.1 微米的灵敏度(范围 0.1 μm-1.0 μm)
  • 顺序采样与可选收集器
  • 排气扇在仪器运行过程中不工作,以减少颗粒的影响
  • 简化了区域、位置和运行参数配置和复制的接口
*本产品仅供工业与科研使用,不用于临床诊断 

 

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功能特点

合规标准

  • 符合 ISO 14644-1  Class 5 的采样标准
  • 符合 ISO 21501-4 准确的工艺基准确定和故障解决功能

数据管理

  • 无线,以太网,串口和 USB 通讯选择
  • 打印或无纸化数据输出
  • 开放的通信体系结构

仪器操作

  • 多达 6 个粒径通道(2.83 LPM 流速(0.1 CFM))
  • 顺序采样能力
  • 长寿命激光技术,提高性能和降低操作成本

应用程序

  • 半导体洁净室分类与监控
  • 持续的环境监测
  • 故障诊断过程

产品规格明细

实验性能 ISO 21501-4 unit-to-unit accuracy & reproducibility
Industry Standards ISO 21501-4 , 21 CFR Part 11, ISO 14644-1:2015, FCC, CE
Light Source Helium neon laser
Coincidence Loss % at 1,765,000 particles/m³ (per ISO 21501-4 method)
Sample Volume 5 µm
实验通量 28.32 L per minute
Reporting EU GMP, ISO 146441-1.2015, FS209E, BS5295, ISO 14644-1:1999
Zero Count ISO 21501-4 & JIS B 9921 (1 count or less in 5 minutes; 95% Upper Confidence Limit)
Counting Efficiency 50% at 0.1 μm (100% for particles > 0.15 μm per ISO 21501-4 & JIS B 9921)
Count Alarms Display and Cycles User-defined alarm counts, Raw counts: N/CF, N/CM, N/L in cumulative or differential mode
产品货号 2088800-02

技术文件